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德国MechOnics压电式纳米定位台的结构通常包括压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴等多自由度的精密运动。MechOnics压电式纳米定位台这种结构设计使得压电纳米定位台具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器后,可实现纳米级分辨率及定位精度。
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